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1
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1998년
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(주)경일메가소닉 설립
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2
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1998년
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"Hyper-megasonic" 개발완료
(생산기술연구원과 Megasonic 공동개발)
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3
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1999년
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- "6인치 웨이퍼 세정용 980 kHz 메가소닉" 개발 완료
- “8인치 웨이퍼 세정용 980 kHz 메가소닉” 개발 완료
- “200 kHz급 고주파형 초음파 세척기” 개발 완료
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4
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2000년
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LCD, GLASS 세정용 shower 및nozzle형 메가소닉 개발 완료
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5
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2001년
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- 300mm 웨이퍼 세정용 메가소닉 개발 완료 공급
- 고주파 와트미터 내장형 발진기 개발 완료
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⊙ Samsung Electronic Co., Ltd ( Kiheung Factory ,300mm FAB)
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| ⊙ Samsung Electronic Co., Ltd ( Chonan Factory )
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| ⊙ LG Philips LCD ( Gumi )
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| ⊙ LG Siltron Inc.(Gumi Factory, 8", 12" FAB)
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| ⊙ Hynix ( Cheongju Factory, D-RAM Fab)
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| ⊙ Hynix ( Ichon Factory, Fab3, Fab4, Fab5, )
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| ⊙ MEMC korea (Chonan)
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| ⊙ Fairchild korea Semiconductor (Puchon)
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| ⊙ Dongbu Anamsemiconductor Co., Ltd (Puchon)
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| ⊙ Atis Co., Ltd
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| ⊙ HIT Co.,Ltd.
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| ⊙ K.C.Tech Co., Ltd
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| ⊙ DNS Korea Co., Ltd
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