1

1998년

(주)경일메가소닉 설립

2

1998년

"Hyper-megasonic" 개발완료

(생산기술연구원과 Megasonic 공동개발)

3

1999년

- "6인치 웨이퍼 세정용 980 kHz 메가소닉" 개발 완료

- “8인치 웨이퍼 세정용 980 kHz 메가소닉” 개발 완료

- “200 kHz급 고주파형 초음파 세척기” 개발 완료

4

2000년

LCD, GLASS 세정용 shower 및nozzle형 메가소닉 개발 완료

5

2001년

- 300mm 웨이퍼 세정용 메가소닉 개발 완료 공급

- 고주파 와트미터 내장형 발진기 개발 완료

 

 

   

⊙ Samsung Electronic Co., Ltd ( Kiheung Factory ,300mm FAB)

⊙ Samsung Electronic Co., Ltd ( Chonan Factory )

⊙ LG Philips LCD ( Gumi )

⊙ LG Siltron Inc.(Gumi Factory, 8", 12" FAB)

⊙ Hynix ( Cheongju Factory, D-RAM Fab)

⊙ Hynix ( Ichon Factory, Fab3, Fab4, Fab5, )

⊙ MEMC korea (Chonan)

⊙ Fairchild korea Semiconductor (Puchon)

⊙ Dongbu Anamsemiconductor Co., Ltd (Puchon)

⊙ Atis Co., Ltd

⊙ HIT Co.,Ltd.

⊙ K.C.Tech Co., Ltd

⊙ DNS Korea Co., Ltd